低压扫描电镜(Low vacuum scanning electron microscope ,LVSEM)特指以场发射电子枪为光源,加速电压小于1KeV的扫描电镜。LVSEM已成为材料研究中一种具有广泛应用价值的工具。
当加速电压低到1KeV时,用扫描电镜观察绝缘体样品就不会产生核电效应,因此,在低加速电压下可以直接观察绝缘样品的表面形貌,其分辨率可达2.5~5nm。与常规扫描电镜相比,低压扫描电镜具有如下优点:1)入射电子作用范围明显缩小,样品辐照损伤轻,这对电子辐照敏感的聚合物材料十分重要;2)二次电子产额提高,衬度好;3)二次电子和背散射电子成像以及背散射电子衍射和X射线的横向分辨率均有所提高;4)在减轻样品表面局部电荷积累程度的 同时又提高了磁畴、铁电等微场的成像灵敏度。
(编辑:庞维彬)
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