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X射线光电子能谱（XPS）

仪器型号：800T双动力挤压机等

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项目介绍样品要求结果展示常见问题

项目介绍

XPS是分析研究固体表面元素成份、元素分布、元素价态和化学态等表面化学特性方面的重要仪器，原则上能分析除H、He以外的所有元素，尤其适用于分析材料表面元素的化学价等，检测灵敏度0.1%～1%原子浓度比。 XPS适于分析固体样品，形状不限，粉末样品也可以分析，但以表面光滑的片状为好，如纳米薄膜材料，催化剂，微电子材料，高分子材料，生物材料，金属材料，半导体材料，无机非金属材料等。原则上样品表面应维持欲分析状态。对表面污染的样品可采取适当措施，予以清洁，安装时应使样品与样品托有良好的电接触，具有放射性、挥发性的样品不宜分析。

注意事项：

1、X射线光电子能谱（XPS）可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱，也可刻蚀后采谱得到深层的信息；

2、X射线光电子能谱（XPS）按元素个数收费（需要包含必测元素C，不能测试H、He元素）；一个元素默认测一个轨道，若测试多个轨道计为多个元素；一个样品默认一个测试位置，若测试多个位置计为多个位置；

3、XPS定量为半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号；

样品要求

1、样品状态：要求块状、薄膜、粉末样品。

2、粉末样品：≥20mg，研磨至无颗粒感，用铝箔包裹后密封防潮。

3、块状/薄膜样品：最佳尺寸小于5*5*3mm，表面平整，需标记清楚测试面。

4、注意：①液体样品需制好样干燥后再寄送；②易氧化的样品建议手套箱制样，也请抽真空后送样；③XPS是高真空环境测试的，所以要求样品要充分干燥，易吸湿样品请提前说明；④不能测试含硫、氟、氯、溴、碘单质等易挥发成分的样品；⑤样品含有放射性元素请提前说明；⑥块状/薄膜样品表面请用乙醇擦拭干净或抽真空来样，接触空气容易受C、N、O、Si等元素污染，测试结果可能会有误差；⑦样品是用胶带固定到样品台上，回收的样品会有污染或损坏/损失，不建议回收样品！

结果展示

常见问题

XPS对于未知元素组成分析过程？

对于未知样品，首先进行全谱扫描，初步判断样品表面的元素组成；然后根据全谱扫描确定目标元素的窄区扫描能量范围，对其进行高分辨细扫描，从而获得其准确的结合能位置。

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